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Keithley 标准系列 2400 源测量单元

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Keithley 标准系列 2400 源测量单元 (SMU) 仪器提供四象限精密电压和电流源/负载，外加测量。每个 SMU 仪器均同时提供高度稳定的直流电源和一台真正的仪器级 6½ 位万用表。电源特性包括低噪声、高精度和回读。万用表的功能包括高重复性和低噪声。

所属分类：

美国泰克

美国吉时利

源表

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产品详细

吉时利数字源表系列专用于要求紧密结合源和测量的测试应用。全部数字源表型号都提供精密电压源和电流源以及测量功能。每款数字源表既是高度稳定的直流电源也是真仪器级的6位半万用表。此电源的特性包括低噪声、精密和回读。此万用表的功能包括可重复性高和低噪声。最终形成了紧凑、单通道、直流参数测试仪。在工作时，这些仪器能用作电压源、电流源、电压表、电流表和欧姆表。通信、半导体、计算机、汽车和医疗行业的组件和模块制造商会发现吉时利数字源表是适于特性分析和生产测试等广泛应用的重要源表。

主要特性：

集5台仪器的功能于一体（IV源、IVR 测量）
6种模式：20W~100W直流、1000W脉冲、1100V至1μV、10A至10pA
源和阱（4象限）工作
0.012%基础测量精度（6位半分辨率）
2线、4线和6线远程电压源和测量感测
1700读数/秒（4位半分辨率），通过GPIB
通过/失效比较器用于快速排序/分选
提供高速感测线接触检查功能
可编程DIO端口用于自动化/处理程序/探针控制
标准SCPI GPIB、RS232和吉时利触发链路接口
吉时利LabTracer 2.0版I-V曲线跟踪应用软件（下载）

典型应用

设备：

分立半导体器件
无源器件
瞬变抑制器件
IC、RFIC、MMIC
激光二极管、激光二极管模块、LED、光检测器
电路保护器件：TVS、MOV、保险丝等
气袋
连接器、开关、继电器

测试：

漏电
低电压/电阻
LIV
IDDQ
I-V特性分析
隔离和印制线电阻
温度系数
正向电压、反向击穿、漏电流
直流参数测试
直流电源
HIPOT
绝缘耐压测试序列举例

电压精度（本地或远端感测）

型号	量程	设置分辨率	电源¹ 准确度 (1 年)23°C ±5°C±(% rdg. + 电压)	缺省测量分辨率	测量 ^{2, 3, 4} 准确度 (1 年)23°C ±5°C±(% rdg. + 电压)	输出转换速率 (±30%)	源/阱极限
2400, 2401	200.000 mV	5 µV	0.02% + 600 µV	1 µV	0.012% + 300 µV		±21 V @ ±1.05 A ±210 V @ ±105 mA*
	2.00000 V	50 µV	0.02% + 600 µV	10 µV	0.012% + 300 µV
	20.0000 V	500 µV	0.02% + 2.4 mV	100 µV	0.015% + 1.5 mV	0.08 V/µs
	200.000 V*	5 mV	0.02% + 24 mV	1 mV	0.015% + 10 mV	0.5 V/µs
2410	200.000 mV	5 µV	0.02% + 600 µV	1 µV	0.012% + 300 µV		±21 V @ ±1.05 A ±1100 V @ ±21 mA
	2.00000 V	50 µV	0.02% + 600 µV	10 µV	0.012% + 300 µV
	20.0000 V	500 µV	0.02% + 2.4 mV	100 µV	0.015% + 1 mV	0.15 V/µs
	1000.00 V	50 mV	0.02% + 100 mV	10 mV	0.015% + 50 mV	0.5 V/µs
2420	200.000 mV	5 µV	0.02% + 600 µV	1 µV	0.012% + 300 µV		±21 V @ ±3.15 A ±63 V @ ±1.05 A
	2.00000 V	50 µV	0.02% + 600 µV	10 µV	0.012% + 300 µV
	20.0000 V	500 µV	0.02% + 2.4 mV	100 µV	0.015% + 1 mV	0.08 V/µs
	60.0000 V	1.5 mV	0.02% + 7.2 mV	1 mV	0.015% + 3 mV	0.14 V/µs
2440	200.000 mV	5 µV	0.02% + 600 µV	1 µV	0.012% + 300 µV		±10.5 V @ ±5.25 A ±42 V @ ±1.05 A
	2.00000 V	50 µV	0.02% + 600 µV	10 µV	0.012% + 300 µV
	10.0000 V	500 µV	0.02% + 1.2 mV	100 µV	0.015% + 750 µV	0.08 V/µs
	40.0000 V	5 mV	0.02% + 4.8 mV	1 mV	0.015% + 3 mV	0.25 V/µs
*Not available on 2401.

NOTES

温度系数（0°C ~18°C & 28°C ~50°C）：±（0.15×规定的准确度）/°C。
电压调整率：线路调整率：量程的0.01%。负载调整率：量程的0.01%+ 100μV。
过压保护：用户可选值，5%允许误差。工厂缺省=none。
电流极限/钳位：双极性电流极限（嵌位）设为一个值。量程的0.1%（最小值）。
过冲：典型值<0.1%（满量程步长，电阻性负载，10mA量程）。

源指标附加说明（适用所有型号）

瞬时响应时间：当负载发生阶跃变化时，输出信号恢复到规定值的时间为30μs（最低要求）。
命令处理时间：接收到：SOURce:VOLTage|CURRent命令后，输出端开始变化所需的最长时间。自动量程开：10ms。自动量程关：7ms。
输出稳定时间：命令处理和输出转换之后，达到最终值0.1%的所需时间。100μs（典型值）。阻性负载。10μA至100mA量程。
直流浮地电压：输出端可以从机壳地电平上浮至±250VDC（2440型为±40VDC）。
远端感测：每条负载线的压降达1V。
嵌制准确度：在基本指标上量程增加0.3%并且读数增加±0.02%。
过温保护：如果内部检测到温度过载就将部件置为待机模式。
量程变化过冲：过冲至全阻性100kΩ负载，10Hz~1MHz带宽，相邻
量程：100mV（典型值），除了20V/200V（20V/60V，对于2420），20V/100V对于2425和2430，量程边界和和2440。
最小嵌位值：量程的0.1%。

附加脉冲模式源指标（仅对2430和2430-C）

最大占空比：8%，硬件限制，仅10A量程。所有其它量程为100%。
最大脉冲宽度：5ms从90%上升沿至90%下降沿，2.5ms 10A量程。
最小脉冲宽度：150μs。
最小脉冲分辨率：50μs（典型值），70μs（最大值）由系统抖动限制。
源精度：由稳定时间和源量程指标决定。
输出稳定时间0.1%：
800μs（典型值），电流源=10A至10Ω，被电压转换速率限制。
500μs（典型值），电流源=10A至1Ω，被电压转换速率限制。
输出转换速率：
电压（10Ω负载）：0.25V/μs±30%在100V量程。0.08V/μs±30%在20V量程、10A量程。
电流（0Ω负载）：0.25A/μs±30%在100V量程。0.08A/μs±30%在20V量程、10A量程。

注解：

1.仅2400、2410：指标对连续输出电流低于105mA有效。对高于105mA连续工作超过
1分钟，精度降低10%/35mA（高于105mA）。
2.速度=正常（1PLC）。对于0.1PLC，增加0.005%量程补偿指标，除了200mV、1A、10A量程，增加0.05%。对于0.01PLC，增加0.05%量程补偿指标，除了200mV、1A、10A量程增加0.5%。
3.当正确归零时，精度适用于2线或4线模式。
4.在脉冲模式，限制在0.1 PLC测量。

电流准确度（本地或远端感测）

型号	量程	设置分辨率	电源^{1, 3}准确度(1 年)23°C ±5°C±(% rdg. + 电压)	缺省测量分辨率	测量^{5, 6, 7}准确度 (1 年)23°C ±5°C±(% rdg. + 电压)	源/阱极限
2400, 2401	1.00000 µA	50 pA	0.035% + 600 pA	10 pA	0.029% + 300 pA	±1.05A @ ±21 V ±105 mA @ ±210 V⁸
	10.0000 µA	500 pA	0.033% + 2 nA	100 pA	0.027% + 700 pA
	100.000 µA	5 nA	0.031% + 20 nA	1 nA	0.025% + 6 nA
	1.00000 mA	50 nA	0.034% + 200 nA	10 nA	0.027% + 60 nA
	10.0000 mA	500 nA	0.045% + 2 µA	100 nA	0.035% + 600 nA
	100.000 mA	5 µA	0.066% + 20 µA	1 µA	0.055% + 6 µA
	1.00000 A²	50 µA	0.27 % + 900 µA	10 µA	0.22 % + 570 µA
2410	1.00000 µA	50 pA	0.035% + 600 pA	10 pA	0.029% + 300 pA	±1.05A @ ±21 V ±21 mA @ ±1100 V
	10.0000 µA	500 pA	0.033% + 2 nA	100 pA	0.027% + 700 pA
	100.000 µA	5 nA	0.031% + 20 nA	1 nA	0.025% + 6 nA
	1.00000 mA	50 nA	0.034% + 200 nA	10 nA	0.027% + 60 nA
	20.0000 mA	500 nA	0.045% + 4 µA	100 nA	0.035% + 1.2 µA
	100.000 mA	5 µA	0.066% + 20 µA	1 µA	0.055% + 6 µA
	1.00000 A²	50 µA	0.27 % + 900 µA	10 µA	0.22 % + 570 µA
2420	10.0000 µA	500 pA	0.033% + 2 nA	100 pA	0.027% + 700 pA	±3.15A @ ±21 V ±1.05 A @ ±63 V
	100.000 µA	5 nA	0.031% + 20 nA	1 nA	0.025% + 6 nA
	1.00000 mA	50 nA	0.034% + 200 nA	10 nA	0.027% + 60 nA
	10.0000 mA	500 nA	0.045% + 2 µA	100 nA	0.035% + 600 nA
	100.000 mA	5 µA	0.066% + 20 µA	1 µA	0.055% + 6 µA
	1.00000 A²	50 µA	0.067% + 900 µA	10 µA	0.066% + 570 µA
	3.00000 A²	50 µA	0.059% + 2.7 mA	10 µA	0.052% + 1.71 mA
2440	10.0000 µA	500 pA	0.033% + 2 nA	100 pA	0.027% + 700 pA	±5.25A @ ±10.5 V ±1.05 A @ ±42 V
	100.000 µA	5 nA	0.031% + 20 nA	1 nA	0.025% + 6 nA
	1.00000 mA	50 nA	0.034% + 200 nA	10 nA	0.027% + 60 nA
	10.0000 mA	500 nA	0.045% + 2 µA	100 nA	0.035% + 600 nA
	100.000 mA	5 µA	0.066% + 20 µA	1 µA	0.055% + 6 µA
	1.00000 A	50 µA	0.067% + 900 µA	10 µA	0.060% + 570 µA
	5.00000 A	50 µA	0.10 % + 5.4 mA	10 µA	0.10 % + 3.42 mA

NOTES

温度系数（0°C ~18°C & 28°C ~50°C）：±（0.15×规定的准确度）/°C。
电流调整率：线路调整率：量程的0.01%。负载调整率：量程的0.01%（除了2440型 5A量程的0.05%） + 100pA。
电压极限/嵌位：双极性电压极限（嵌位）设为一个值。量程的0.1%（最小值）。
过冲：典型值<0.1%（1mA步长，RL=10kΩ，20V量程，适于2400、2410、2420、2425 、2430），（10V量程，对于2440）。

注解：

1.仅2400、2410：指标对连续输出电流低于105mA有效。对于高于105mA连续工作>1 分钟，精度降低10%/35mA（高于105mA）。
2.全工作（1A）不考虑负载至30°C（50°C对于2420和2440）。高于30°C（50°C 对于2420和2440）环境温度，降低35mA/°C并且分配35mA/Ω负载。4线模式。对于电流阱工作在1A、3A或5A量程，最大连续功率限制在约1/2额定功率或更低，这取决于电流，达30°C环境温度。见用户手册的功率公式计算具体条件下允许的占空比。
3.对于阱模式，1μA~100mA量程，准确度是： 2400：±(0.15%+偏移量*4)，2410、2420、2425、2430、2440：±(0.5%+偏移量*3)。
对于1A量程，准确度是： 2400：±(1.5%+偏移量*8)，2410、2420、2425、2430、2440：±(1.5%+偏移量*3)
4.10A的量程仅在脉冲模式中可以达到。限制在2.5ms脉冲宽度最大值。10%占空比最大值。
5.速度=正常（1PLC）。对于0.1PLC，增加0.005%量程补偿指标，除了200mV、 1A、10A量程增加0.05%。对于0.01PLC，增加0.05%量程补偿指标，除了 200mV、1A、10A量程增加0.5%。
6.当正确归零时，精度适用于2线或4线模式。
7.在脉冲模式，限制在0.1 PLC测量。
8.仅2400和2400-C。

电阻测量准确度（本地或远端感测）^{1, 2, 5}

量程	缺省分辨率	缺省测试电流 2400, 2401, 2410	缺省测试电流 2420, 2440	标准准确度 (23°C ±5°C)1 年, ±(% rdg. + 电流)			增强准确度(23°C ±5°C)⁴1 年, ±(%rdg.+电阻)
量程	缺省分辨率	缺省测试电流 2400, 2401, 2410	缺省测试电流 2420, 2440	2400, 2401	2410	2420, 2440	2400, 2401
<0.20000 W³	–	–	–	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}
2.00000 W³	10 µW	–	1 A	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}	0.17% + 0.0003 W	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}
20.0000 W	100 µW	100 mA	100 mA	0.10% + 0.003 W	0.11% + 0.006 W	0.10% + 0.003 W	0.07% + 0.001 W
200.000 W	1 mW	10 mA	10 mA	0.08% + 0.03 W	0.09% + 0.1 W	0.08% + 0.03 W	0.05% + 0.01 W
2.00000 kW	10 mW	1 mA	1 mA	0.07% + 0.3 W	0.08% + 0.6 W	0.07% + 0.3 W	0.05% + 0.1 W
20.0000 kW	100 mW	100 µA	100 µA	0.06% + 3 W	0.07% + 6 W	0.06% + 3 W	0.04% + 1 W
200.000 kW	1 W	10 µA	10 µA	0.07% + 30 W	0.07% + 60 W	0.07% + 30 W	0.05% + 10 W
2.00000 MW⁶	10 W	1 µA	1 µA	0.11% + 300 W	0.12% + 600 W	0.11% + 300 W	0.05% + 100 W
20.0000 MW⁷	100 W	1 µA	1 µA	0.11% + 1 kW	0.12% + 2.4 kW	0.11% + 1 kW	0.05% + 500 W
200.000 MW³	1 kW	100 nA	–	0.66% + 10 kW	0.66% + 24 kW	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}	0.35% + 5 kW
>200.000 MW³	–	–	–	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}	Source I_{ACC + Meas. V_ACC}

温度系数（0°C ~18°C & 28°C ~50°C）：±（0.15×规定的准确度）/°C。
电流源模式，手动电阻：不确定度总和=电流源准确度+电压测量准确度（4线远端感测）。
电压源模式，手动电阻：不确定度总和=电压源准确度+电流测量准确度（4线远端感测）。
6线电阻模式：支持使用有源电阻防护和防护感测。防护输出
电流最大值：50mA（1A量程除外）。准确度依赖于负载。计算公式请参见第2033号白皮书。
防护输出阻抗：<0.1Ω，电阻模式。

注解

1.速度=正常（1 PLC）。对于0.1 PLC，增加0.005%量程补偿指标，除了200mV、1A、10A量程增加 0.05%。对于0.01 PLC，增加0.05%量程补偿指标，除了200mV、1A、10A量程增加0.5%。
2.当正确归零时，精度适用于2线或4线模式。
3.仅手动电阻——除了2420、2425、2430、2440用于2Ω量程以及2410或2400用于200MΩ量程。
4.激活源回读，偏移补偿开。而且2410、2420、2425、2430和2440也提供类似的精度增强。
5.在脉冲模式，限制在0.1 PLC测量。
6.除了2440；缺省测试电流是5μA。
7.除了2440；缺省测试电流是0.5μA。

系统速度

测量¹

量程变化速率最大值：75/s

自动量程测量时间最大值：40ms（固定源）。

扫描工作模式3读数速度（读数/秒）@ 60Hz（50Hz）：

速度	NPLC/触发源	测量				源-测量				源-测量⁵通过失效测试^{4, 5}				源-内存⁴
速度	NPLC/触发源	至内存		至 GPIB		至内存		至 GPIB		至内存		至 GPIB		至内存		至 GPIB
Fast	0.01 / internal	2081	(2030)	1754		1551	(1515)	1369		902	(900)	981		165	(162)	165
IEEE-488.1 Mode	0.01 / external	1239	(1200)	1254		1018	(990)	1035		830	(830)	886		163	(160)	163
Fast	0.01 / internal	2081	(2030)	1198	(1210)	1551	(1515)	1000	(900)	902	(900)	809	(840)	165	(162)	164	(162)
IEEE-488.2 Mode	0.01 / external	1239	(1200)	1079	(1050)	1018	(990)	916	(835)	830	(830)	756	(780)	163	(160)	162	(160)
Medium	0.10 / internal	510	(433)	509	(433)	470	(405)	470	(410)	389	(343)	388	(343)	133	(126)	132	(126)
IEEE-488.2 Mode	0.10 / external	438	(380)	438	(380)	409	(360)	409	(365)	374	(333)	374	(333)	131	(125)	131	(125)
标准	1.00 / internal	59	(49)	59	(49)	58	(48)	58	(48)	56	(47)	56	(47)	44	(38)	44	(38)
IEEE-488.2 Mode	1.00 / external	57	(48)	57	(48)	57	(48)	57	(47)	56	(47)	56	(47)	44	(38)	44	(38)

单读数工作模式的读速度（读数/秒）@ 60Hz（50Hz）：

速度	NPLC/触发源	测量至 GPIB		源-测量⁵至 GPIB		源-测量⁵通过失效测试^{4, 5}至 GPIB
Fast (488.1)	0.01 / internal	537		140		135
Fast (488.2)	0.01 / internal	256	(256)	79	(83)	79	(83)
Medium (488.2)	0.10 / internal	167	(166)	72	(70)	69	(70)
标准 (488.2)	1.00 / internal	49	(42)	34	(31)	35	(30)

元件@ 60Hz（50Hz）^{4, 6}

速度	NPLC/触发源	测量至 GPIB		源通过失效测试		源-测量通过失效测试^{5, 7}至 GPIB
Fast	0.01 / external	1.04 ms	(1.08 ms)	0.5 ms	(0.5 ms)	4.82 ms	(5.3 ms)
Medium	0.10 / external	2.55 ms	(2.9 ms)	0.5 ms	(0.5 ms)	6.27 ms	(7.1 ms)
标准	1.00 / external	17.53 ms	(20.9 ms)	0.5 ms	(0.5 ms)	21.31 ms	(25.0 ms)

NOTES

1 读数速率可用于电压或电流测量。关闭自稳零，关闭自动量程，关闭滤波器，关闭显示，触发延时=0，并且采用二进制读数格式。
2 纯电阻性导线。1μA和10μA量程<65ms。
3 1000点扫描特点是在固定量程输出。
4 采用上限和数学下限进行通过/失效测试。
5 包含在做测量之前重新设置源到新电平的时间。
6 从测试开始（START OF TEST）信号的下降沿到测试结束（END OF TEST）信号的下降沿的时间。
7 不包括命令:SOURce:VOLTage|CURRent:TRIGgered 的处理时间。

综合说明

噪声抑制：

	NPLC	NMRR	CMRR
Fast	0.01	—	80 dB
Medium	0.1	—	80 dB
Slow	1	60 dB	100 dB¹
¹除了最低的2个电流量程=90dB。

负载阻抗：稳定至20,000pF（典型值）。
共模电压：250V直流（2440为40VDC）。
共模隔离：>10⁹Ω，<1000pF。
过量程：量程的105%，源和测量。
输入/输出与测量端子之间的最大压降：5V。
感测线电阻最大值：1MΩ，额定准确度。
感测输入阻抗：>10¹⁰Ω。
防护偏置电压：<150μV，典型值（2430、2440的典型值为300μV）。
源输出模式：
脉冲（仅2430型）
固定直流电平
存储器列表（混合功能）
阶梯扫描（线性和对数）
内存缓冲区：5,000读数/秒@5位分辨率（2个2,500点缓冲区）。包含所选的测量值和时间戳。锂电池备份（电池寿命超过3年。）
源存储器列表：100点（最大值）。
可编程性：IEEE-488 (SCPI-1995.0)，RS-232，5个用户定义的上电状态加出厂缺省设置和*RST。
数字接口：
互锁：低电平输入有效：
处理程序接口：测试开始，测试结束，3类比特。+5V@300mA电源。
数字I/O：1触发输入、4 TTL/继电器驱动输出（33V@500mA、二极管钳位）。
电源：100V-240Vrms，50Hz-60Hz（上电时自动检测）。
2400：190VA。2410：210VA。
2420：220VA。2425，2430：250VA。2440：240VA。
散热：（2410、2420、2425、2430、2440）：强制空气，可变速度。
EMC：符合欧盟指令89/336/EEC，EN 61326-1。
安全性：符合欧盟指令73/23/EEC，EN61010-1。
振动：MIL-PRF-28800F Class 3随机振动。
预热时间：1小时达到额定精度。
规格：89mm高×213mm宽×370mm深（3 1/2 in × 8 3/8 in × 14 9/16 in）。基准配置（带把手&支脚）：104mm高×238mm宽×370mm深（4 1/8 in × 9 3/8 in × 14 9/16 in）。
重量：3.21kg（7.08磅）（2425、2430、2440重量为：4.1kg，9.0磅）。
工作环境：工作条件0°~50°C，70%相对湿度至35°C。降低3% R.H./°C，35°~50°C。
存储条件：-25°C ~ 65°C。

订购信息

2400 - 200V、1A、20W源表
2400-C - 200V、1A、20W源表带接触检查
2400-LV - 20V、1A、20W源表
2410 - 1100V、1A、20W源表
2410-C - 1100V、1A、20W源表带接触检查
2420 - 60V、3A、60W源表
2420-C - 60V、3A、60W源表带接触检查
2425 - 100V、3A、100W源表
2425-C - 100V、3A、100W源表带接触检查
2430 - 100V、10A、1000W脉冲模式源表
2430-C - 100V、10A、1000W脉冲模式源表带接触检查
2440 - 40V、5A、50W源表
2440-C - 40V、5A、50W源表带接触检查

提供的附件

8605型测试线
LabVIEW软件驱动（可下载）
LabTracer软件（可下载）
TestPoint软件驱动（可下载）

提供服务

2400-3Y-EW型 1年工厂质保延长至3年（从发货之日计）
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C/2400-3Y-ISO 3（ISO-17025认证）校准，自购买2400、2400-C、2400LV的3年内*
C/2410-3Y-ISO 3（ISO-17025认证）校准，自购买2410、2410-C*的3年内*
C/2420-3Y-ISO 3（ISO-17025认证）校准，自购买2420、2420-C*的3年内*
C/2425-3Y-ISO 3（ISO-17025认证）校准，自购买2425、2425-C*的3年内*
C/2430-3Y-ISO 3（ISO-17025认证）校准，自购买2430、2430-C*的3年内*
C/2440-3Y-ISO 3（ISO-17025认证）校准，自购买2440、2440-C*的3年内*
TRN-2400-1-C型课程：释放数字源表的能力
*并非在所有国家都提供